반도체 어닐링 적외선 램프

Fab 작업장에서 어닐링 또는 포토레지스트 베이크 중 1°C의 온도 변동은 따로 알리지 않는다—단지 CD 균일성과 오버레이 여유를 잠식할 뿐이다. 웨이퍼는 협상하지 않는다. 통과하거나 그렇지 않거나 둘 중 하나이다. 우리는 반도체 어닐링 적외선 램프를 프로세스 윈도우...