클리어 쿼츠 적외선 튜브 2700W

라인에서 온도 드리프트는 화이트보드 문제로 끝나지 않습니다. 이는 선폭 변동, 소프트 베이크 후에 접착되지 않는 포토레지스트, 그리고 월말에 체감하는 수율 저하로 나타납니다. 리소그래피 및 포토레지스트 처리에서 베이크 단계는 열 예산을 설정합니다. 핫 존이 웨이퍼 전...