라인에서 온도 드리프트는 화이트보드 문제로 끝나지 않습니다. 이는 선폭 변동, 소프트 베이크 후에 접착되지 않는 포토레지스트, 그리고 월말에 체감하는 수율 저하로 나타납니다. 리소그래피 및 포토레지스트 처리에서 베이크 단계는 열 예산을 설정합니다. 핫 존이 웨이퍼 전반에 걸쳐 세팅 포인트를 유지하지 못하면 반복성이 무너지게 됩니다.
우리가 구축한 것
우리는 2700W 클리어 쿼츠 적외선 튜브를 하나의 목표로 설계했습니다: 공정이 필요로 하는 곳에서의 안정적인 열입니다. 쿼츠는 단파 적외선을 깨끗하게 전송하므로 반응이 빠르고 제어가 엄격하게 유지됩니다. 2700W의 정격은 문 사이클 후 과도한 오버슛 없이 빠르게 회복할 수 있는 전력 밀도를 제공합니다. 가열된 영역 전반에 걸쳐, 우리는 웨이퍼 수준의 균일성을 ±0.1°C 이내로 목표로 하여, 중요한 치수가 연속적으로 규격 내에 유지되도록 합니다.
생산에서 버티는 이유
이 튜브는 소프트 베이크 및 하드 베이크 스테이션의 열 스택에 바로 장착되어 포토레지스트 프로파일을 일관되게 유지하고 결함에 대한 여유를 제공합니다. 이 튜브는 Class 1에서 Class 100까지의 클린룸에서 낮은 가스 방출과 입자 생성을 통해 작동하므로 웨이퍼에서 입자 수를 관리할 필요가 없습니다. 이점은 더 나은 공정 허용도, 더 적은 편차, 그리고 계획할 수 있는 유지 보수 간격으로 이어집니다. 에너지도 규율을 유지하는데, 왜냐하면 이 튜브는 최소한의 대기 손실로 필요에 따라 가열되기 때문입니다.
주의할 점
클리어 쿼츠는 성능이 뛰어나지만 존중이 필요합니다. 깨끗한 장갑으로 다루고 Class 등급의 장비를 사용하세요. 그렇지 않으면 표면 오염의 위험이 있습니다. 반사경 기하학 및 공기 흐름을 튜브에 맞추세요; 그렇지 않으면 핫 스팟과 불균일성이 다시 나타날 것입니다. 장착 시 열-기계적 스트레스를 고려해야 합니다. 열 팽창은 실제이며, 정렬 불량은 시간이 지남에 따라 균일성의 드리프트를 초래할 것입니다.