클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 미세한 이물질이 발생하는 문제가 얼마나 골칫거리인지 잘 알 것입니다. 작은 조각 하나나 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 웨이퍼나 광학 코팅이 망가질 수 있습니다. 정말 짜증나는 일이죠.
그래서 우리는 다른 방식을 사용합니다. 탄소 섬유 가열 요소에 고순도의 합성 석영 소재를 사용하는 것입니다.
왜 석영을 사용할까요?
고순도 석영을 사용하는 이유는 열을 더 잘 견딜 수 있기 때문입니다. 열충격이 발생해도 문제가 되지 않으며, 금속 함량도 새어나오지 않습니다. 저가형 유리는 온도가 오르내릴 때 쉽게 파괴되지만, 석영은 그렇지 않습니다.
탄소 섬유 필라멘트는 진공 상태의 케이스 안에 감겨 있습니다. 이렇게 하면 필라멘트가 산화되는 것을 막을 수 있으며, 무엇보다도 생산 라인으로 아무것도 새어나가지 않도록 할 수 있습니다.
정확한 열 공급
이 램프들은 단파 적외선 에너지를 사용합니다. 주변 공기를 가열하는 데 시간을 낭비하는 대신, 열이 바로 목표물에 전달됩니다. 매우 빠릅니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 열의 강도가 매우 높기 때문에, 가열된 석영 튜브가 팽창할 공간을 남겨두어야 합니다. 만약 석영 튜브를 너무 꽉 묶으면, 처음 가열될 때부터 부러질 수 있습니다. 그런 일은 절대 일어나서는 안 됩니다.
작업장에서의 활용
우리는 커넥터를 표준화하여, 기존 장비에 그냥 연결할 수 있도록 했습니다. 설계가 밀폐형이기 때문에, 가열 요소가 고장 나서 전체 공간이 오염되는 것을 걱정할 필요가 없습니다. 램프의 성능이 저하되면 그냥 전체 장치를 교체하기만 하면 됩니다.
단, 전원 공급 장치에 주의해야 합니다. 갑작스러운 전압 상승으로 인해 필라멘트가 즉시 파괴될 수 있습니다.
또한 PID 컨트롤러를 사용하는 것도 좋습니다. 탄소 섬유는 반응 속도가 매우 빠르기 때문에, 설정이 제대로 되지 않으면 목표 온도를 초과할 수 있습니다. 제대로 설정해 두면, 공기 중에 먼지 한 톨도 들어오지 않으면서도 작업 속도를 높일 수 있습니다.