제조 현장에서 도구가 고장나는 것은 단순한 유지보수 문제가 아닙니다. 이는 생산량과 일정에도 영향을 미칩니다. 코팅/베이킹 모듈을 재조립해야 하거나 본드 헤드를 교체해야 할 경우, 잘못된 열원으로 인해 입자가 발생하여 하드웨어가 손상될 수 있습니다. 바로 이러한 상황을 대비하기 위해 우리는 적외선 히터를 개발했습니다.
기술적으로 중요한 점 우리는 석영 소재로 만들어진 장치를 사용하여 단파 적외선을 방출합니다. 그 결과, 빠르고 정확한 열 공급이 가능하며, 열 제어도 매우 우수합니다. 가열된 영역 전체에서 온도의 균일성은 ±0.1°C 이내로 유지되며, 설정된 온도도 정밀하게 유지됩니다. 이는 서비스 후에 포토레지스트의 베이킹 프로파일을 다시 설정할 때 매우 중요합니다.
히터 본체는 Class 1–100 등급의 클린룸 환경에서도 사용할 수 있으며, 표면 상태가 우수하여 입자 생성 및 가스 배출을 효과적으로 억제합니다. 실제로 이를 통해 입자 알람이 발생하지 않고, 추가적인 웨이퍼를 소모하지 않고도 수리 및 검증 작업을 수행할 수 있습니다.
왜 이 방식이 필요한가? 웨이퍼 건조, 포토레지스트의 소프트/하드 베이킹, 포장 과정, 그리고 세척 후 건조 과정 등 모두 엄격한 열 조건을 요구합니다. 우리의 적외선 히터는 빠르게 온도에 도달하기 때문에 베이킹 시간을 단축시키고 생산성을 높일 수 있습니다.
높은 온도 균일성 덕분에 리소그래피 공정 후에 발생하는 가장자리와 중앙 부분의 온도 차이가 줄어듭니다. 또한 안정적인 반복성 덕분에 수리 후의 공정 결과를 예측할 수 있습니다. 빠른 반응 속도와 낮은 열량 덕분에 에너지 사용량도 줄어들며, 히터의 수명도 길어져서 예비 부품이나 교체 비용도 줄어듭니다.
실제 사용 시 주의사항 히터의 설치와 정렬이 매우 중요합니다. 히터는 도구의 열원 구조에 맞아야 하며, 지역적인 과열을 방지하기 위해 충분한 간격을 유지해야 합니다. 출력 강도는 전압에 따라 달라지므로, 전원 공급이 안정적인지 확인해야 합니다. 전압의 변동은 온도 변동으로 이어질 수 있습니다.
포토레지스트의 베이킹 프로파일을 설정하기 전에 짧은 시간 동안 히터를 예열하여 안정화시키는 것이 좋습니다.