매튜슨 RTP 램프 교체

제조 현장에서 RTP 공정에 사용되는 램프 중 하나가 고장 나면, 단순히 해당 기계만 멈추는 것이 아니라 전체 생산 라인이 중단됩니다. 웨이퍼의 열 처리 과정도 제대로 이루어지지 않습니다. 포토레지스트의 특성도 변질됩니다. 그 결과, CD 제어 및 필름 두께의 일관성...