Jangan biarkan proses pengeringan merosakkan hasil pengeluaran anda
Jika anda beroperasi di bilik bersih kelas 100, anda pasti sudah tahu betapa buruknya situasinya. Sebiji debu kecil atau serpihan mikroskopik dari unsur pemanas boleh jatuh pada wafer sensor MEMS, dan ini akan menyebabkan tekanan permukaan meningkat secara mendadak. Akibatnya, hasil pengeluaran akan menurun. Ini sangat menjengkelkan, dan tentunya memerlukan kos yang tinggi.
Itulah sebabnya kami beralih kepada lampu IR yang diperbuat daripada kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Tiada serpihan, tiada gas berbahaya yang terhasil. Hanya haba yang bersih sahaja yang dihasilkan.
Mengapa kuarsa begitu penting
Kerajang kaca biasa tidak dapat bertahan terhadap haba yang tinggi tanpa rosak atau mengeluarkan bahan-bahan organik volatil yang berbahaya. Kami menggunakan silika yang telah disatukan, kerana ia tetap stabil walaupun dalam keadaan suhu yang sangat tinggi.
Anggaplah lapisan kuarsa ini sebagai “peti simpanan” yang melindungi filamen tungsten daripada persekitaran bilik bersih. Anda masih boleh mendapatkan haba yang diperlukan, tetapi tiada sentuhan fizikal atau aliran udara yang boleh membawa kotoran ke atas wafer. Ini merupakan cara yang lebih selamat untuk bekerja.
Memastikan suhu yang tepat
Kunci untuk proses pengeringan MEMS adalah kelajuan. Anda perlu menguapkan cecair yang digunakan untuk mencuci wafer dengan cepat, tetapi anda tidak boleh memanaskan substrat tersebut sehingga ia menjadi terlalu panas.
Lampu IR kami menggunakan radiasi gelombang pendek yang dapat menembusi lapisan cecair tersebut. Kami boleh menyesuaikan kuasa dan voltan agar sesuai dengan saiz wafer tertentu, supaya ia lebih efektif.
Namun, perlu diingat bahawa apabila lampu ini digunakan pada tahap maksimum untuk memendekkan masa proses pengeringan, hujung lampu akan menjadi sangat panas. Anda perlu memastikan bahawa lampu tersebut dilengkapi dengan sistem penyejukan yang efektif. Jika tidak, badan bilik bersih anda mungkin akan rosak, dan tiada siapa yang ingin menghadapi masalah tersebut.
Menghubungkan lampu dan memastikannya berfungsi dengan baik
Kami menggunakan konektor standard. Mengapa? Kerana kami ingin agar lampu ini dapat digantikan dengan mudah untuk menggantikan modul pengeringan yang sedia ada.
Konektor ini mempunyai saiz yang kecil, jadi ia boleh diletakkan lebih dekat dengan wafer untuk meningkatkan kecekapan. Kami juga tidak menggunakan bahan pelekat atau lapisan pelindung, kerana bahan-bahan ini akan terkelupas akhirnya. Sebaliknya, ia hanya disambungkan secara mekanikal sahaja.
Dan apabila lampu tersebut rosak? Anda hanya perlu menggantikannya sahaja. Tidak perlu menghabiskan masa berjam-jam untuk menyesuaikan semula parameter suhu di dalam bilik bersih tersebut. Anda boleh terus bekerja seperti biasa.