Tại sao lại ngừng việc làm nóng không khí và chuyển sang làm nóng trực tiếp bộ phận cần được gia nhiệt?
Hầu hết mọi người đều quen với các loại máy sưởi dựa trên nguyên lý đối lưu không khí. Chúng làm nóng không khí trước, sau đó không khí ấy mới làm nóng các bộ phận cần được gia nhiệt. Nhưng trong phòng sạch dùng cho sản xuất linh kiện bán dẫn thì cách này lại gây ra nhiều vấn đề.
Khi làm nóng toàn bộ bên trong máy, mọi thứ đều bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao. Các bức tường bên trong máy cũng trở nên rất nóng. Điều này không chỉ gây nguy cơ bỏng cho những người thao tác trên máy, mà còn khiến thân máy giãn nở và thay đổi hình dạng. Đó là điều cuối cùng mà chúng ta muốn xảy ra khi thao tác với các linh kiện có độ chính xác cao.
Bí quyết để truyền nhiệt một cách chính xác
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại tia ngắn để truyền nhiệt. Thay vì làm nóng không khí, các sóng hồng ngoại di chuyển theo đường thẳng. Chúng bỏ qua không khí xung quanh và truyền toàn bộ năng lượng vào bề mặt của bộ phận cần được gia nhiệt. Bằng cách xác định chính xác điểm tập trung của sóng nhiệt và sử dụng các gương phản chiếu phù hợp, chúng ta có thể truyền nhiệt đúng vào vị trí cần thiết – chính xác là lên bề mặt wafer.
Điều tuyệt vời nhất là các bức tường của máy vẫn giữ được nhiệt độ mát mẻ. Chúng ta có thể nhận được lượng nhiệt cần thiết ngay tại vị trí xử lý, mà không cần biến chiếc máy đắt tiền này thành chiếc lò nướng khổng lồ.
Nhược điểm của việc sử dụng bóng đèn hồng ngoại
Tuy nhiên, đây không phải là giải pháp hoàn hảo. Vẫn có những hạn chế. Các bóng đèn hồng ngoại công suất cao rất hiệu quả trong việc làm nóng nhanh, nhưng chúng tỏa ra nhiệt lượng rất lớn. Nếu các gương phản chiếu không được lắp đặt chính xác, hoặc bóng đèn bị lệch một chút, thì sẽ xuất hiện những điểm nóng trên thân máy. Đây là công việc đòi hỏi sự chính xác tuyệt đối. Chúng ta cần phải đảm bảo rằng mọi thứ đều được lắp đặt một cách chính xác.
Cách làm việc an toàn hơn
Việc chuyển sang sử dụng bóng đèn hồng ngoại giúp giảm thiểu “vùng nguy hiểm” bên trong máy. Vì các bức tường không hấp thụ nhiệt dư thừa, nên nhiệt độ bên ngoài máy vẫn ở mức an toàn. Ngoài ra, chúng ta cũng tránh được việc lãng phí điện năng để làm nóng không khí trong phòng sạch. Đây chính là cách thông minh hơn để truyền nhiệt. Hãy ngừng việc làm nóng toàn bộ căn phòng, chỉ cần làm nóng trực tiếp bộ phận cần được gia nhiệt thôi.