为何要停止加热空气，而是直接加热部件呢？
大多数人习惯使用对流式加热器——这种加热器先加热空气，然后再让空气来加热部件。但在半导体洁净室中，这种方式反而会引发诸多问题。 当整个机器内部都被加热时，所有的部件都会受到热量影响。机器的内壁也会变得极其烫热。这不仅会对操作人员造成灼伤风险，还会导致机壳膨胀或变形。而在这类高精度组件面前，这显然是不可取的。
定向加热的技巧
我们采用不同的方法——使用短波红外线灯。 红外线以直线形式传播，不会受到空气的干扰。它们能直接将能量传递到需要加热的部件上。通过精确控制焦点，并使用合适的反射器，我们可以让热量准确地作用于晶圆上。 最棒的是，机器的壳体保持凉爽状态。这样就能在需要的地方获得所需的热量，而无需让昂贵的机器变成一个巨大的烤炉。
红外线技术的局限性
不过，这并非完美无缺的解决方案。它也有其局限性。 高功率的红外线灯虽然能让加热速度加快，但它们的强度很高。如果反射器的位置有偏差，或者灯泡有点倾斜，就会在机器上形成“热点”。因此，必须非常精确地调整各个部件的位置，确保一切都在正确的中心点上。
更安全的工作方式
使用红外线技术可以大大减少机器内部的“危险区域”。 由于机壳不会吸收多余的熱量，所以其表面的温度不会过高，从而避免对任何人造成伤害。此外，也不必再浪费电能来加热洁净室中的空气了。 这是一种更有效的能量利用方式——不必再加热整个房间，只需直接加热需要加热的部件即可。