晶圆加工设备用温度传感器

确保晶圆加热过程绝对干净无污染 在100级洁净室中工作时，任何细微的误差都可能导致严重后果。哪怕有那么一丁点灰尘或加热元件释放出的气体，都会影响产品的良率。这简直就是一场噩梦。 因此，我们不再使用普通材料，而是选用高纯度的合成石英来制造红外灯。 为什么石英如此重要 普通的玻璃根本无法满足要求——它...