如何处理半成品加工设备中的热量问题 在制造过程中，红外线辐射是个需要重点控制的因素。如果不加以控制，它会带来严重的问题。它不仅会消耗大量能量，还会让昂贵设备的内部部件变成“烤箱”。当设备外壳过热时，就会构成安全隐患，同时还会导致设备内部敏感部件变形。为避免这种情况，我们使用石英玻璃作为隔热层，将热...

在芯片制造过程中，如果加热温度出现0.5度的偏差，那就再也没有机会弥补这个误差了。光刻胶在加热过程中的0.5℃温度变化都可能影响关键尺寸，从而导致大量晶圆变成废品。因此，我们需要的是那种性能稳定、分布均匀且无污染的热源。正因如此，我们专门为芯片制造打造了定制化的石英加热器——因为在这里，温度控制是...

在线温度漂移问题 在生产线上，温度漂移并不是一个可以在白板上解决的问题。它表现为线宽变化、光刻胶在软烘烤后无法粘附，以及你在月底感受到的良率下降。在光刻和光刻胶处理过程中，烘烤步骤设定了热预算。如果热区无法在晶圆上保持设定点，重复性就会崩溃。 我们构建的基础 我们围绕一个目标设计了2700W的清石...