ফ্যাব রুমে, কোনো যন্ত্রাংশটি ঠিকমতো কাজ না করলে তা শুধুমাত্র রক্ষণাবেক্ষণের বিষয় নয়; এটা উৎপাদন ক্ষমতা ও সময়সীমার উপরও প্রভাব ফেলে। যখন কোনো মডিউলকে পুনর্নির্মাণ করতে হয়, অথবা কোনো যন্ত্রাংশকে পুনর্ব্যবহার করতে হয়, তখন ভুল তাপ-উৎস থেকে উৎপন্ন কণাগুলো যন্ত্রাংশে ঢুকে যেতে পারে। এই কারণেই আমরা এই ধরনের পরিস্থিতির জন্য ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ অ্যাসেম্বলির মাধ্যমে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি। এর ফলে দ্রুত ও নির্দিষ্ট দিকে তাপ সরবরাহ করা যায়; আর তাপ-নিয়ন্ত্রণও ভালো থাকে। উত্তপ্ত অঞ্চলে তাপমাত্রার ভিন্নতা ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি একটি সীমিত পরিসরে থাকে। সার্ভিসের পর ফটোরেসিস্টগুলোকে পুনরায় উত্তপ্ত করার সময় এটা খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
হিটারটি Class 1–100 ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহারযোগ্য; এর পৃষ্ঠগুলো কণা উৎপাদন ও গ্যাস নির্গমনকে নিয়ন্ত্রণ করে। ফলে রিপেয়ার ও কোয়ালিফিকেশন প্রক্রিয়াগুলো সঠিকভাবে সম্পন্ন হয়; কোনো সমস্যা দেখা দেয় না।
কেন এটা প্রয়োজনীয়?
ওয়েফার শুকানো, ফটোরেসিস্টকে নরম/কঠিন অবস্থায় উত্তপ্ত করা, প্যাকেজিং প্রক্রিয়া, এবং পরিষ্কার করার পর শুকানোর প্রক্রিয়াগুলোতে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা অপরিহার্য। আমাদের ইনফ্রারেড হিটারগুলো দ্রুত তাপমাত্রা অর্জন করে; ফলে উত্তপ্ত করার সময় কমে যায় এবং উৎপাদন ক্ষমতা বৃদ্ধি পায়।
নির্দিষ্ট তাপমাত্রা রক্ষা করার ফলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার পর ওয়েফারের কেন্দ্র ও প্রান্তের মধ্যে তাপমাত্রার ভিন্নতা কমে যায়। আর স্থিতিশীল পুনরাবৃত্তির ফলে রিপেয়ার প্রক্রিয়াগুলো সঠিকভাবে সম্পন্ন হয়। দ্রুত প্রতিক্রিয়া ও কম তাপ-মাসের ফলে শক্তি ব্যবহার কমে যায়; আর এমিটারের জীবনকাল দীর্ঘ হওয়ায় কম স্পেয়ার পার্টস ও কম পরিবর্তন দরকার হয়।
ফিল্ড নোটস:
হিটারটিকে সঠিকভাবে স্থাপন ও সারিবদ্ধ করা জরুরি। হিটারটির আকৃতি যন্ত্রাংশটির হট-জোনের আকৃতির সাথে মিলে যাওয়া উচিত; আর স্থানীয় অতিরিক্ত তাপ এড়াতে যথেষ্ট দূরত্ব থাকা উচিত। আউটপুট ইন্টেনসিটি ভোল্টেজের সাথে সমানুপাতিক; তাই সরবরাহ ব্যবস্থাটি স্থিতিশীল কিনা তা নিশ্চিত করুন। লাইন রিপল ও ট্রানজিয়েন্টগুলো তাপমাত্রার অস্থিরতার কারণ হতে পারে।
ফটোরেসিস্টকে উত্তপ্ত করার আগে অবশ্যই কিছুক্ষণ অপেক্ষা করুন।