Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihr Trocknungsprozess Ihre Erträge beeinträchtigt!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem bereits. Ein winziger Staubkorn oder ein mikroskopisch kleiner Teil eines Heizelements landet auf der MEMS-Sensorwafer – und plötzlich sinkt die Oberflächenspannung. Dadurch verringern sich die Erträge. Das ist frustrierend – und außerdem sehr teuer.
Deshalb haben wir auf hochreinen synthetischen Quarzlampen umgestellt. Keine Splitter, keine Abgase – nur saubere Wärme.
Warum Quarz so wichtig ist
Die meisten Gläser können die Hitze nicht aushalten, ohne zu zerbrechen oder unerwünschte flüchtige organische Verbindungen freizusetzen. Wir verwenden geschmolzenen Siliziumdioxid – denn dieser Material bleibt auch bei extremen Temperaturen stabil.
Man kann das Quarzkörper als eine Art „Tresor“ betrachten: Er schützt den Wolframfaden vor den Einflüssen des Reinraums. So erhalten Sie die benötigte Strahlungswärme – doch es kommt zum keinen physischen Kontakt, und es gibt keinen Luftstrom, der Schadstoffe auf die Wafer bringen könnte. Das ist eine viel sicherere Arbeitsweise.
Die richtige Wärmestärke erreichen
Der Schlüssel beim Trocknen mit MEMS-Technologie ist Geschwindigkeit. Man muss die Spülflüssigkeiten schnell verdunsten lassen – doch man darf das Substrat nicht überhitzt werden lassen.
Unsere IR-Lampen nutzen Kurzwelleneinstrahlung, die direkt durch die Flüssigkeitsschicht dringt. Wir können die Leistung und Spannung an die Größe Ihrer Wafer anpassen – dadurch passt die Lösung perfekt zu Ihren Anforderungen.
Aber Achtung: Wenn man diese Lampen bis an ihre Grenzen belastet, um ein paar Sekunden Zeit zu sparen, werden ihre Enden sehr heiß. Sie sollten daher sicherstellen, dass die Lampen über eine effektive Kühlung verfügen. Andernfalls könnte der Rahmen Ihres Reinraums beschädigt werden – und das möchte niemand.
Anschließen und in Betrieb halten
Wir haben die Anschlüsse standardisiert. Warum? Weil wir möchten, dass diese Anschlüsse einfach als Ersatz für die vorhandenen Trockenungsmodule verwendet werden können.
Sie nehmen wenig Platz ein – daher können sie näher an die Wafer platziert werden, was zu einer besseren Effizienz führt. Zudem haben wir Klebstoffe und Beschichtungen vermieden – diese lösen sich irgendwann immer wieder ab. Stattdessen handelt es sich um eine einfache, mechanische Verbindung.
Und wenn eine Lampe kaputtgeht? Dann wechselt man sie einfach aus. Es ist nicht nötig, stundenlang den gesamten thermischen Aufbau der Kammer neu zu kalibrieren. Man kann sofort wieder mit der Arbeit fortfahren.