Verhindern Sie, dass eine defekte Lampe Ihre gesamte Produktionscharge zerstört
In einer Hochlast-Anlage für Halbleiter funktioniert alles einwandfrei – bis plötzlich etwas schiefgeht. Eine einzige Lampe versagt, ein Quarzrohr platzt – und plötzlich sind überall Scherben und chemische Verunreinigungen. Dadurch wird ganze Produktionschargen unbrauchbar. Das ist ein Albtraum.
Wir bauen unsere Infrarotheizgeräte so, dass das nicht passiert. Es kommt auf zwei Dinge an: bessere Verkabelung sowie eine effektive Abschirmung.
Warum wir uns für Teflon (PTFE) entscheiden
Die meisten herkömmlichen Isoliermaterialien können die ständigen Temperaturschwankungen in einer Halbleiteranlage nicht aushalten. Sie werden brüchig und brechen. Deshalb verwenden wir hochwertiges Teflon (PTFE) für die elektrischen Leitungen. Dadurch bleibt das Material flexibel und gibt bei hohen Temperaturen keine Gase ab.
Die eigentliche Gefahr
Wenn die Verkabelung ausfällt, entsteht ein elektrischer Bogen. Ein solcher Bogen kann das Quarzrohr zerstören. Mit PTFE wird das verhindert.
Beherrschung der Unordnung
Selbst mit guter Verkabelung können Probleme auftreten. Doch ein defektes Rohr sollte nicht dazu führen, dass die gesamte Produktionslinie stillsteht. Wir verwenden verstärktes Quarz, das Hitze besser ertragen kann als billigeres Material. Doch damit machen wir es nicht bei. Wir fügen außerdem einen Schutzmantel oder ein Abschirmungssystem hinzu. Wenn ein Rohr doch zerbricht, bleiben die Splitter im Schutzmantel gefangen. Sie treffen nicht auf die Wafer. So bleibt die „Katastrophenzone“ isoliert und Ihre Produkte bleiben sauber.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Um eine schnelle Erwärmung zu erreichen, muss viel Leistung eingesetzt werden. Das setzt große Belastungen auf die Enden der Lampe. Unsere Geräte können diese Belastungen bewältigen – doch Sie müssen sicherstellen, dass die Stromversorgung stabil bleibt. Spannungsspitzen sind besonders schädlich für die Glühfäden. Egal wie gut das Isoliermaterial auch sein mag, kann eine starke Spannungsspitze immer noch dazu führen, dass ein Rohr zerbricht.
Tipp: Passen Sie die Einstellungen des PID-Reglers an die tatsächliche Erwärmungsrate der Lampe an. Dadurch hält das Quarzrohr länger.
Wenn Sie richtig verdrahtet haben und eine effektive Abschirmung vorhanden ist, ist ein Defekt der Lampe keine Katastrophe mehr. Es handelt sich dabei nur um eine kurze Wartungsmaßnahme. Sie tauschen einfach die Lampe aus, reinigen den Schutzmantel und die Produktion kann wieder weiterlaufen.