Trong quy trình sản xuất, bạn không có cơ hội sửa chữa nếu độ chính xác của nhiệt độ bị sai lệch chỉ 0,5 độ C. Sự thay đổi nhiệt độ 0,5°C trong quá trình nung phim quang hóa có thể làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer, khiến nhiều wafer bị hỏng. Vì vậy, chúng ta cần những thiết bị gia nhiệt bằng thủy tinh thạch anh mà hoạt động một cách ổn định, đồng đều và không gây ra sai số nhiệt độ. Đó là lý do tại sao chúng tôi chế tạo những thiết bị gia nhiệt bằng thủy tinh thạch anh riêng biệt cho việc sản xuất wafer; ở đây, yếu tố nhiệt độ rất quan trọng.
Những yếu tố quan trọng cần lưu ý
Chúng tôi sử dụng thủy tinh thạch anh vì nó mang lại khả năng phản ứng nhanh và ổn định với tia hồng ngoại, đồng thời bề mặt của nó phù hợp để sử dụng trong môi trường sạch. Trong khu vực xử lý wafer, độ đồng đều về nhiệt độ phải đạt mức ±0,1°C; đây chính là yêu cầu cần thiết để đạt được chất lượng cao trong quá trình nung wafer. Bạn có thể điều chỉnh công suất và bước sóng để phù hợp với yêu cầu của thiết bị – sóng ngắn để tăng tốc độ nung, sóng trung bình để kiểm soát nhiệt độ ổn định. Các thông số như kích thước, điện áp và loại kết nối đều được thiết kế phù hợp với thiết bị của bạn, dù đó là thiết bị cũ hay mới, nhằm đảm bảo việc tích hợp diễn ra dễ dàng.
Quy trình in ấn và xử lý phim quang hóa không chấp nhận sự thay đổi nhiệt độ; chúng đòi hỏi sự đồng đều về nhiệt độ trong từng lần xử lý. Những thiết bị gia nhiệt này hoạt động 24/7 mà không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, giúp duy trì mức độ sạch trong phòng sạch ở mức cao. Kết quả là việc kiểm soát kích thước wafer trở nên ổn định hơn, giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm, và năng suất sản xuất cũng được cải thiện. Chúng tôi còn kiểm soát việc sử dụng năng lượng bằng cách đảm bảo sự kết nối nhiệt độ chính xác và giảm thiểu tổn thất năng lượng, nhờ đó chi phí vận hành giảm mà thời gian xử lý vẫn được duy trì.
Điều bạn cần lưu ý là các thiết bị gia nhiệt bằng thủy tinh thạch anh rất nhạy cảm với lực tác động lên chúng và dòng khí làm mát. Bạn cần đảm bảo rằng các thông số kỹ thuật được đặt chính xác, và dòng khí làm mát phải ổn định – nếu không, sẽ xuất hiện các điểm nóng và sự sai lệch về nhiệt độ. Chúng tôi cung cấp bảng calibrat và các thông số kỹ thuật cần tuân thủ khi lắp đặt. Hãy nhớ rằng, khả năng phản ứng nhiệt độ của thiết bị phụ thuộc vào cấu trúc của buồng xử lý; vì vậy, hãy chia sẻ thông tin về kích thước của thiết bị của bạn ngay từ đầu. Như vậy, chúng tôi mới có thể thiết lập thông số của thiết bị gia nhiệt phù hợp với buồng xử lý, chứ không chỉ riêng thiết bị gia nhiệt mà thôi.