Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật lithography, ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ khoảng nửa độ cũng có thể khiến việc kiểm soát kích thước các chi tiết trở nên khó khăn. Lượng chất lỏng còn sót lại trong lớp phim phản quang cũng trở nên khó dự đoán, và tỷ lệ sản phẩm tốt cũng giảm xuống. Chúng tôi đã thiết kế những bộ sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ những yếu tố gây biến động này.
Điều quan trọng là gì? Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn, có khả năng phản ứng nhanh và kiểm soát phổ tia chính xác. Nhờ đó, quá trình gia nhiệt diễn ra nhanh mà không xảy ra sự vượt quá giới hạn nhiệt độ. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C, và điều này được kiểm tra và xác nhận trong điều kiện sản xuất thực tế. Khả năng tương thích với môi trường phòng sạch cũng rất quan trọng; các bộ sưởi này đáp ứng tiêu chuẩn ISO Class 1–100, không tạo ra hạt bụi hay khí thải, nhờ đó tính toàn vẹn của lớp phim vẫn được duy trì. Độ lặp lại của quá trình gia nhiệt cũng nằm trong khoảng ±0,2°C, giúp quy trình sản xuất ổn định trong hàng ngàn wafer được chế tạo.
Lý do tại sao điều này lại quan trọng trong thực tế là: cả quá trình gia nhiệt nhẹ lẫn quá trình gia nhiệt mạnh đều yêu cầu phải kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Các bộ phát tia hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời ổn định lượng chất lỏng còn sót lại trong lớp phim phản quang, từ đó cải thiện độ đồng đều của kích thước các chi tiết và giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì chúng ta chỉ cần làm nóng vật thể cần xử lý, chứ không phải các bức tường của buồng xử lý. Độ tin cậy của các bộ sưởi này cao, có thể hoạt động 24/7, với thời gian hoạt động ổn định, giúp giảm thiểu các sự cố bất ngờ trong quá trình sản xuất.
Việc lắp đặt chỉ đơn giản là đặt bộ sưởi vào vị trí phù hợp trong buồng xử lý và kết nối nó với mạch điện riêng. Các bộ sưởi này hoạt động tốt với các khay chứa wafer tiêu chuẩn, nhưng vẫn cần kiểm tra mức độ kết nối nhiệt cho từng hệ thống. Quá trình lắp đặt diễn ra nhanh chóng – các thông số nhiệt độ được xác định rõ, và độ đồng đều của nhiệt độ cũng được kiểm tra. Một khi đã được thiết lập xong, quy trình sản xuất sẽ được duy trì ổn định.