Ở phần xử lý ẩm trong quy trình in ăn mòn bằng tia cực tím, việc rửa không sạch, để lại dấu vết nước hoặc gây ra sự chênh lệch nhiệt độ là những vấn đề nghiêm trọng. Điều này có thể dẫn đến sự tích tụ các hạt bẩn và sai lệch kích thước của sản phẩm. Cần có nguồn nhiệt có khả năng làm khô bề mặt nhanh chóng, mà không để lại hơi ẩm hay hạt bẩn trên bề mặt.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi đã chế tạo bóng đèn hồng ngoại chống nước dành cho bước rửa, với bước sóng ngắn. Bóng đèn này có vỏ bọc bằng thạch anh, cuộn dây halogen, khả năng phản ứng nhanh và độ ổn định cao. Việc chọn bước sóng phù hợp giúp làm nóng bề mặt nhanh chóng mà không làm hỏng bề mặt vật liệu được xử lý. Cần duy trì độ đồng đều về nhiệt độ trong khu vực xử lý ở mức ±0.1°C, đồng thời đảm bảo tính ổn định của nhiệt độ để bảo vệ chất liệu được xử lý.
Đầu bóng đèn có độ bảo vệ IP67, với các bộ phận kín và vỏ chống ăn mòn, giúp bóng đèn có thể hoạt động tốt trong môi trường ẩm ướt và có chất tẩy rửa mạnh. Bóng đèn này phù hợp với các phòng sạch loại 1–100, và thiết kế của nó giúp giảm thiểu sự tích tụ hạt bẩn trong quá trình hoạt động.
Tại sao điều này phù hợp với quy trình Trong quy trình làm sạch và sấy khô wafer, bước rửa và sấy phải kết thúc với bề mặt khô ráo, không còn tạp chất. Bóng đèn hồng ngoại giúp sấy khô bề mặt ngay tại chỗ, từ đó giúp rút ngắn thời gian xử lý và giảm lượng nước cần sử dụng. Khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp bảo vệ chất liệu được xử lý sau bước rửa, giúp duy trì độ ổn định của quy trình xử lý. Thiết kế chống nước giúp tránh những sự cố do rò rỉ nước, còn độ ổn định của bóng đèn giúp máy móc hoạt động liên tục 24/7 với ít sự điều chỉnh cần thiết.
Những gì cần chú ý khi lắp đặt Việc lắp đặt đòi hỏi phải điều chỉnh đúng vị trí và khoảng cách giữa các bộ phận. Do độ rọi ánh sáng khá cao, nên cần điều chỉnh khoảng cách sao cho tránh được những điểm nóng, đồng thời vẫn đảm bảo chiếu sáng toàn bộ bề mặt. Bóng đèn tỏa nhiệt lớn, vì vậy cần có các biện pháp cách nhiệt và kết nối điện an toàn. Cần chọn bước sóng và cường độ ánh sáng phù hợp với chất tẩy rửa và loại wafer được xử lý, để đạt được kết quả mong muốn.