半導体アニーリング赤外線ランプ

ファブフロアでは、アニーリングやフォトレジストベーク中の1℃のドリフトは目立たず、ただCD均一性やオーバーレイのマージンを削っていくだけです。ウェーハは交渉しません。合格か不合格か、どちらかです。 当社の半導体アニーリング用赤外線ランプは、サイクルごとにプロセスウィンドウ内の熱挙動を維持するよう設...