ステンレス製ヒーターハウジングの製造

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行う場合、わずかなミスでも大きな問題につながります。塗料の破片やごくわずかなガスの放出だけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子がこのような環境には適していないことです。そのた...