なぜ、古式のバスルーム用ヒーターの使用をやめるべきか バスルームにある昔ながらの「電球型」のヒーターは、ちょうど使いたい時に壊れてしまうことがよくありますよね。それは、蒸気や湿気がヒーターの内部に入り込んでしまうからです。そうなると、短絡が起きたり、フィラメントが壊れてしまったりします。本当にイラ...

はじめに 私たちは、このニコン製ステッパー型ヒーターを、実際に使える製品として開発しました。日本やアメリカの有名ブランドと同じ仕様ですが、高価な価格はありません。これは、熱を安定して供給する必要があり、機械が停止している時間を許されないようなステッパー駆動式の加熱システムに最適な代替品です。 もし...

製造現場において、RTPツール内の1つのランプが故障するだけでも、そのマシンは停止してしまいます。その結果、生産ライン全体が止まってしまいます。ウェーハの加熱条件も崩れ、フォトレジストの特性も不安定になります。突然、CD精度やフィルム厚さの再現性も悪くなってしまいます。MattsonのRTPランプ...