マットソンRTPランプの交換

製造現場において、RTPツール内の1つのランプが故障するだけでも、そのマシンは停止してしまいます。その結果、生産ライン全体が止まってしまいます。ウェーハの加熱条件も崩れ、フォトレジストの特性も不安定になります。突然、CD精度やフィルム厚さの再現性も悪くなってしまいます。MattsonのRTPランプ...