なぜスマートファブの加熱に赤外線を使用するのか？ インダストリー4.0に基づくスマートファブを構築するには、ソフトウェアだけでは不十分です。世界で最も優れたコードを持っていても、ハードウェアがそれに追いつかなければ意味がありません。 従来の対流式オーブンはあまりにも遅すぎます。電源を切った後も長時...

製造現場では、焼成時の温度が0.5度でもずれると、もう二度とチャンスはありません。フォトレジストの焼成時に0.5℃の変動があるだけで、ウェーハの寸法が変わってしまい、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。そのため、予測可能で均一で安定した加熱が必要です。だからこそ、私たちはウェーハ製造用に特別に設...