グローブボックス用赤外線ヒーター素子

半導体用グローブボックス内での熱処理について 問題は、グローブボックス内の物体を加熱しようとすると、対流が最大の障害となることです。 通常の抵抗式ヒーターを使用すると、内部の空気全体が温まってしまいます。その結果、装置の外壁が巨大な放熱体として機能してしまいます。やがて、外殻が触れると火傷するほど...