ウェーハ用高精度IRセンサー

機械を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。 シリコンウェーハの処理に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、一般的なIRランプでは放射線があちこちに漏れ出します。 問題は、そのエネルギーがウェーハだけでなく、装置の内壁にも当たってしまうこと...