フォトレジストのプリベイク用赤外線ヒーター

リソグラフィーの工程において、わずか0.5度程度の温度変動でも、重要な寸法制御が失われてしまいます。フォトレジスト内の溶剤の残存量も予測不可能になり、歩留まりも低下してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するために、特別に設計されたフォトレジスト用の予熱用赤外線ヒーターを開発しました。...