真空赤外線を利用した半導体製造工程における炭素排出量の削減 半導体の製造には高い精度が求められますが、高真空環境下での作業はエネルギー消費の観点から見ると大変な問題です。多くの工場では依然として抵抗加熱法を用いていますが、これはまるで鍋全体を温めることで小さな豌豆を温めようとするようなものです。こ...

半製品の炭素排出量を削減する：なぜ真空式赤外線ヒーターが有効なのか まずは熱バランスについて話しましょう。半導体製造工場において、熱バランスは非常に重要です。しかし、依然として従来の抵抗加熱方式を使っている場合、1枚のウェーハを適切な温度にするために、チャンバ全体を加熱する必要があります。これは大...