ウェーハツール用温度センサー
ウェーハの加熱部分を常に清潔に保つために
クラス100のクリーンルームで作業する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかなほこりや、加熱素子から発生するガスでも、製品の品質が低下してしまいます。これは本当に厄介な問題です。
そのため、私たちは従来の材料ではなく、高純度の合成石英をIRランプ...
ファブツール修理用赤外線ヒーター
製造現場において、工具が故障するというのは単なるメンテナンスの問題ではありません。それは生産効率やスケジュールに悪影響を与えることになります。コーティング/焼成モジュールが再構築が必要になったり、ボンドヘッドが修理のために取り外されると、不適切な熱源によって粒子が発生し、それがハードウェアに付着し...