ウェーハの加熱部分を常に清潔に保つために
クラス100のクリーンルームで作業する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかなほこりや、加熱素子から発生するガスでも、製品の品質が低下してしまいます。これは本当に厄介な問題です。
そのため、私たちは従来の材料ではなく、高純度の合成石英をIRランプに使用するようにしました。
なぜ石英が重要なのか
一般的なガラスでは、このような状況に耐えられません。熱衝撃によって割れてしまったり、半導体の製造には不十分な純度だったりします。私たちは、水酸基（OH）含有量が少ない融解石英を使用しています。
つまり、ランプが加熱されたり冷却されたりするときに、微細なシリカ粒子が飛び散ることがないのです。さらに、石英の外殻によって密閉されているため、タングステンフィラメントが本来あるべき場所に留まり、プロセス環境から離れた状態にあります。
必要な場所にのみ熱を与える
私たちのIRランプは、エネルギーを非常に狭いスペクトル帯に集中させます。これが最も優れている点です。つまり、ウェーハ表面の特定の温度に到達できるのに、装置全体がオーブンのようになることはありません。
起動も非常に速いです。実際、とても速いのです。
しかし、注意が必要です。熱が集中しているため、冷却システムを正しく設計する必要があります。もし空気の流れが悪ければ、装置が変形したり、センサーが破損したりします。これは妥協点ですが、速度の点から見れば価値があります。
接着剤や汚れが一切ない
私たちは、これらのランプを「そのまま交換可能」に設計しました。停止時間は最大の敵ですから、簡単に交換できるようにしました。
また、接着剤やコーティングも使っていません。なぜかというと、それらは最終的に剥がれ落ちてしまうからです。代わりに、真空状態や制御された雰囲気の中でも密封が維持される機械的なシール方式を採用しています。これはシンプルで、機械的で、清潔です。
注意点
ただし、高純度の石英はもろいということを忘れてはいけません。極端な高温には耐えられますが、振動には弱いのです。
もし取り付けブラケットに緩衝材がなければ、ランプがフレームにぶつかって壊れてしまう可能性があります。そして、真空密封が失われると、フィラメントは瞬時に焼き切れてしまいます。しっかりと固定しておけば、問題ありません。