半導体ランプの世界的有名メーカー

ファブ内では、ソフトベイクやハードベイクの温度が、単に工程を決定するだけでなく、ウェーハ上の線幅も決定してしまいます。0.5℃のズレがあれば、CDの形状に変化が生じます。さらに、ランプの動作中に粒子が発生すれば、歩留まりが低下してしまいます。 必要なのは、再現性の高く、クリーンな熱源であり、既存の...