化学処理を行う環境で赤外線ヒーターを使用する際の安全対策 もし、可燃性溶剤や爆発性蒸気のある場所で赤外線ヒーターを使用するなら、その危険性はよくわかっているはずです。わずかな火花が発生しても、大惨事につながります。通常のクォーツランプでは不十分であり、むしろ危険要素となります。 そのため、私たちは...

現場での温度ドリフト ライン上での温度ドリフトはホワイトボード上の問題ではありません。それはライン幅の変動、ソフトベーク後に付着しないフォトレジスト、そして月末に実感する歩留まりの低下として現れます。リソグラフィーとフォトレジスト処理において、ベークステップは熱的な予算を設定します。ホットゾーンが...

ゴールドチューブ赤外線ヒーター：ピンリードシールがすべてを変える理由 温度が上がってもずっと動き続けるヒーターが必要なとき、本当に重要なのは何かを話しましょう。 ゴールドチューブ赤外線ヒーターは一つの目的に特化しています。それは、周囲の空気を無駄に暖めることなく、必要な場所に強力で集中的な熱を届け...