現場での温度ドリフト
ライン上での温度ドリフトはホワイトボード上の問題ではありません。それはライン幅の変動、ソフトベーク後に付着しないフォトレジスト、そして月末に実感する歩留まりの低下として現れます。リソグラフィーとフォトレジスト処理において、ベークステップは熱的な予算を設定します。ホットゾーンがウエハ全体で設定値を維持できない場合、再現性は崩れてしまいます。
私たちが構築したもの 私たちは2700Wのクリアクォーツ赤外線チューブを、プロセスが必要とする場所での安定した熱を実現することを目的に設計しました。クォーツは短波赤外線をクリーンに透過するため、応答が早く、制御が厳密に保たれます。2700Wの定格は、ドアサイクル後にオーバーシュートなしで迅速に回復するための電力密度を提供します。加熱面全体で、ウエハレベルの均一性を±0.1℃以内に目指しているため、重要な寸法は繰り返しの中で規格内に留まります。
生産での耐久性の理由 このチューブはソフトベークおよびハードベークステーションの熱スタックに直接取り付けられ、フォトレジストプロファイルの一貫性を保ち、欠陥に対するマージンを増やします。クリーンルームのクラス1からクラス100で運用可能で、低いアウトガスと粒子生成がないため、ウエハ上の粒子数との戦いを避けられます。その結果、プロセスの許容度が向上し、逸脱が減少し、計画的なメンテナンスのインターバルが可能になります。エネルギーも規律を保ち、チューブは需要に応じて最小限のスタンバイ損失で加熱されます。
注意すべき点 クリアクォーツは性能を発揮しますが、扱いには注意が必要です。清潔な手袋を着用し、クラス認定された器具を使用してください。そうしないと、表面汚染のリスクがあります。反射鏡の形状と気流をチューブに合わせてください。そうしなければ、ホットスポットや不均一な均一性が再び現れることになります。マウント内の熱機械的ストレスに備えてください。熱膨張は現実であり、アライメントのずれは時間の経過とともに均一性のドリフトを引き起こします。