クリアクォーツ赤外線チューブ 2700W

現場での温度ドリフト ライン上での温度ドリフトはホワイトボード上の問題ではありません。それはライン幅の変動、ソフトベーク後に付着しないフォトレジスト、そして月末に実感する歩留まりの低下として現れます。リソグラフィーとフォトレジスト処理において、ベークステップは熱的な予算を設定します。ホットゾーンが...