一つのランプが壊れるだけで、生産されたウェーハ全体が台無しになってしまう。高負荷の半導体製造ラインでは、すべてが順調に進んでいるように見えますが、いつ何が起こるかわかりません。たった一つのランプが壊れるだけで、石英管が破裂し、至る所に破片や化学物質が飛び散ります。そうなると、生産されたウェーハ全体...

クリーンルームで使用するトロリーヒーターを安全に保つために（そして、電力供給系統を安定させるために） 半導体製造工場において、トロリーヒーターが故障するというのは、単なる「悪い日」や一時的な停止に過ぎないわけではありません。それは大きな問題です。廃棄物の発生や、実際の安全上のリスクが生じるからです...

揮発性化学物質の周辺での赤外線加熱をどう扱うか 半導体洗浄ラインを運用している人なら、この問題はよくわかるでしょう。使用される溶剤は、ちょっとしたことで火がついてしまう危険性があります。そんな状況で、高温度の赤外線ランプをその中に投入したらどうなるでしょうか？それは大変危険な状況になります。 解決...

無駄なエネルギーの消費をやめよう：金コーティングされたIRランプの真実 半導体製造工場において、エネルギーの無駄遣いは単なる予算上の問題ではなく、重大なリスクとなります。 一般的な赤外線ランプを考えてみましょう。このランプはあらゆる方向に放射線を放出します。つまり、高価なエネルギーの約半分が、実際...

はじめに 半導体の深層加工において、誰もが同じ目標を追い求めています。それは、歩留まりを損なうことなく、処理時間を短縮することです。そこで私たちは、その課題に対処するために、半導体ヒーター専用の熱電対を開発しました。 赤外線加熱では、エネルギーが直接対象物に届くため、空気が温まるのを待つ必要があり...

OEM半導体ヒーター：仕様書の数値が実際に意味するもの つまり、ここで言うのは、OEM半導体ヒーターとして製造された国内製の赤外線ヒーターのことです。重要な疑問は、このヒーターが高価な輸入部品と同じように使えるかどうかということです。 簡単に言えば、それは数値次第です。 これらのヒーターは、電圧や...

ファブ内では、ソフトベイクやハードベイクの温度が、単に工程を決定するだけでなく、ウェーハ上の線幅も決定してしまいます。0.5℃のズレがあれば、CDの形状に変化が生じます。さらに、ランプの動作中に粒子が発生すれば、歩留まりが低下してしまいます。 必要なのは、再現性の高く、クリーンな熱源であり、既存の...

24時間365日稼働する製造ラインでは、熱ドリフトは単なる理論上の問題ではありません。それは、データ上で確認できる前から既に発生している品質低下の要因です。わずかな温度変動や過度な加熱があっただけで、再加工が必要になります。そうした問題を解決するために、私たちは調光可能な半導体ヒーターランプを開発...

ファブフロアでは、アニーリングやフォトレジストベーク中の1℃のドリフトは目立たず、ただCD均一性やオーバーレイのマージンを削っていくだけです。ウェーハは交渉しません。合格か不合格か、どちらかです。 当社の半導体アニーリング用赤外線ランプは、サイクルごとにプロセスウィンドウ内の熱挙動を維持するよう設...