半導体クリーンルーム用トロリータイプヒーター

クリーンルームで使用するトロリーヒーターを安全に保つために（そして、電力供給系統を安定させるために） 半導体製造工場において、トロリーヒーターが故障するというのは、単なる「悪い日」や一時的な停止に過ぎないわけではありません。それは大きな問題です。廃棄物の発生や、実際の安全上のリスクが生じるからです...