ウェーハツール用温度センサー

ウェーハの加熱部分を常に清潔に保つために クラス100のクリーンルームで作業する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかなほこりや、加熱素子から発生するガスでも、製品の品質が低下してしまいます。これは本当に厄介な問題です。 そのため、私たちは従来の材料ではなく、高純度の合成石英をIRランプ...