ファブ向け 最高評価のRTPランプ

製造現場では、熱による影響は決して警告のサインとして現れることはありません。それは、ウェハの寸法が変動したり、側壁に傷ができたり、フォトレジストの特性がロットごとに異なったりする形で現れます。ランプの性能が低下すると、熱バランスが崩れ、不良品の発生が増えてしまいます。 技術的に重要な点 私たちがこ...