半製品処理用ランプにおける熱対策 ファブ内での赤外線放射について言えば、それを適切に制御しなければ大変な問題が生じます。赤外線は単に電力を消費するだけでなく、高価な機器の内壁をまるでオーブンのようにしてしまいます。 ケースがあまりにも熱くなると、本当に深刻な問題が起きます。機械に触れる人々にとって...

なぜスマートファブの加熱に赤外線を使用するのか？ インダストリー4.0に基づくスマートファブを構築するには、ソフトウェアだけでは不十分です。世界で最も優れたコードを持っていても、ハードウェアがそれに追いつかなければ意味がありません。 従来の対流式オーブンはあまりにも遅すぎます。電源を切った後も長時...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や、安価なヒーターから出るガスすらも、ウェーハや光学コーティングを破壊してしまいます。本当に厄介です。 だからこそ、私たちは異なる方...

製造現場での炭素排出量削減：なぜ赤外線加熱が有効なのか 正直に言えば、半導体の製造は多大なエネルギーを消費します。ほとんどの製造現場では、依然として古い加熱方式が使われており、それらは熱を無駄に放出したり、不要に多くの電力を消費したりしています。カーボンニュートラルを実現したいのであれば、このよう...

化学工場での乾燥処理時に物を安全に保つために 正直言って、半導体や化学工場での乾燥処理はかなり危険な作業です。可燃性の溶剤や揮発性の蒸気が存在し、さらに赤外線ランプも使われます。もしクォーツ製のケースが壊れたり、電気的なアークが発生したりすると、単に部品が壊れるだけでなく、火災の危険もあります。...

なぜ、IRランプの電気的安全性にこだわるのか？ 高い温度や高電圧を扱う際には、事態が急速に悪化する可能性があります。わずかな絶縁不良だけで、フューズが切れたり、メインブレーカーが作動してしまい、全ての操作が停止してしまいます。 だからこそ、私たちは推測に頼らないのです。私たちの工場を出るすべてのラ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行う場合、わずかなミスでも大きな問題につながります。塗料の破片やごくわずかなガスの放出だけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子がこのような環境には適していないことです。そのた...

ファブ内では、チップの接着剤が硬化する過程において、熱管理と歩留まりが重要な要素となります。2℃の温度変動だけでも、接着強度が変わり、剥離が起こり、これまで全ての工程を通過したデバイスであっても廃棄されてしまいます。そのため、処理カードで指定された場所に正確に熱を加える必要があります。これを繰り返...

製造現場において、工具が故障するというのは単なるメンテナンスの問題ではありません。それは生産効率やスケジュールに悪影響を与えることになります。コーティング/焼成モジュールが再構築が必要になったり、ボンドヘッドが修理のために取り外されると、不適切な熱源によって粒子が発生し、それがハードウェアに付着し...

製造現場では、焼成時の温度が0.5度でもずれると、もう二度とチャンスはありません。フォトレジストの焼成時に0.5℃の変動があるだけで、ウェーハの寸法が変わってしまい、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。そのため、予測可能で均一で安定した加熱が必要です。だからこそ、私たちはウェーハ製造用に特別に設...

製造現場では、熱による影響は決して警告のサインとして現れることはありません。それは、ウェハの寸法が変動したり、側壁に傷ができたり、フォトレジストの特性がロットごとに異なったりする形で現れます。ランプの性能が低下すると、熱バランスが崩れ、不良品の発生が増えてしまいます。 技術的に重要な点 私たちがこ...