製造現場において、工具が故障するというのは単なるメンテナンスの問題ではありません。それは生産効率やスケジュールに悪影響を与えることになります。コーティング/焼成モジュールが再構築が必要になったり、ボンドヘッドが修理のために取り外されると、不適切な熱源によって粒子が発生し、それがハードウェアに付着してしまいます。まさにそのために、私たちはこのような状況に対応できる赤外線ヒーターを開発したのです。
技術的に重要な点 私たちは石英製のユニット内に短波長の赤外線エミッターを使用しています。その結果、迅速かつ方向性のある加熱が可能で、熱制御も精密に行えます。加熱される領域全体での温度の均一性は±0.1℃以内に保たれ、設定値の繰り返し精度も高く保たれます。これは、メンテナンス後にフォトレジストの焼成プロファイルを再設定する際に非常に重要です。
ヒーター本体はクラス1〜100のクリーンルーム環境に適合し、表面からの粒子発生やガス放出を抑制します。実際には、これにより、粒子警報が発生したり、余分なウェーハが破壊されることなく、修理や試験を行うことができます。
なぜこれが必要な場面で有効か ウェーハの乾燥、フォトレジストのソフトバーン/ハードバーン、パッケージング時の充填剤の硬化、クリーニング後の乾燥など、どれも厳しい熱的条件が求められます。私たちの赤外線ヒーターは素早く温度に到達するため、焼成時間を短縮し、生産性を向上させることができます。また、均一性が高いため、リソグラフィー後のウェーハの中心部と端の間の厚み差が減少し、安定した繰り返し性能により、修理後のプロセスの再現性が高まります。迅速な応答速度と低い熱容量により、エネルギー消費も抑えられ、エミッターの寿命も長くなるため、スペア部品の必要性や交換頻度も減少します。
実際の使用状況について 取り付けや位置合わせが重要です。ヒーターは工具のホットゾーンの形状に合致している必要があり、局所的な過熱を避けるために十分な隙間が必要です。出力強度は電圧に比例するため、供給電源が安定していることを確認してください。電源のノイズや急激な変動によって温度が不安定になる可能性があります。フォトレジストの焼成プロファイルを決定する前に、しばらくの間、ヒーターを温めて安定させる必要があります。