乾燥処理によって歩留まりが低下するのを防ごう クラス100のクリーンルームで作業しているなら、その悩みはよくわかるでしょう。ほんの少しのほこりや、ヒーターから出る微細な破片がMEMSセンサーワイヤー上に付着するだけで、表面張力が急激に変わってしまいます。その結果、歩留まりが下がってしまいます。これ...

ファブ内での炭素排出削減：なぜ短波長の赤外線が最適なのか 半導体業界の人々は、炭素中性を達成するという大きなプレッシャーに直面しています。エネルギーの消費先を見ると、多くのエネルギーがウェーハの加熱や硬化処理に使われていることがわかります。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを採用しました。部...

機械を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。 シリコンウェーハの処理に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、一般的なIRランプでは放射線があちこちに漏れ出します。 問題は、そのエネルギーがウェーハだけでなく、装置の内壁にも当たってしまうこと...

ウェーハを安全に保つために：誘電体の信頼性についての真実 大量の熱をウェーハに与えるとき、高電圧が働きます。これは非常に過酷な環境です。わずかなミス——少しの電気漏れや偶発的な放電——で、コントローラーが破壊されたり、大量のシリコンが廃棄物になってしまったりします。 これは悪夢のような状況です。し...

ウェーハの加熱部分を常に清潔に保つために クラス100のクリーンルームで作業する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかなほこりや、加熱素子から発生するガスでも、製品の品質が低下してしまいます。これは本当に厄介な問題です。 そのため、私たちは従来の材料ではなく、高純度の合成石英をIRランプ...

硬化処理中にウェーハを常に清潔に保つために もし、クラス100のクリーンルームを利用しているのであれば、間違いの余地は一切ないことはご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや、加熱要素から発生するガスですら、全体の製品を無駄にしてしまいます。本当に悪夢的です。 だからこそ、私たちは普通の材料を使うのを...

OEMグレードの赤外線ランプ：見えない利益 私たちがこの赤外線加熱ランプを開発したのは、半導体テストラボ内のウェーハ乾燥および包装工程のためです。 これらのランプはOEM基準に従って設計されており、元の製品と同等の信頼性と性能を発揮します。ただし、元の製品ほど高価ではありません。 つまり、適切な温...