乾燥処理によって歩留まりが低下するのを防ごう
クラス100のクリーンルームで作業しているなら、その悩みはよくわかるでしょう。ほんの少しのほこりや、ヒーターから出る微細な破片がMEMSセンサーワイヤー上に付着するだけで、表面張力が急激に変わってしまいます。その結果、歩留まりが下がってしまいます。これは非常に悩ましいことであり、正直、コストもかかります。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用するようにしました。破片が出ないし、有害な揮発性有機化合物も発生しません。純粋な熱だけが得られます。
石英が重要な理由
一般的なガラスでは、高温になると壊れたり、有害なVOCが放出されたりします。しかし、融解したシリカは、どんなに高温になっても安定しているのです。石英のケースは、タングステンフィラメントをクリーンルームの環境から隔離する役割を果たします。必要な放射熱は得られますが、物理的な接触や空気流による汚染物質の付着はありません。これはずっと安全な作業方法です。
適切な温度の設定
MEMSの乾燥処理では、迅速に液体を蒸発させる必要があります。しかし、基板を過度に加熱してはいけません。
私たちのIRランプは、短波長の放射を利用して液体膜を素早く透過させます。ワイヤーのサイズに合わせて出力や電圧を調整できるので、「一つのサイズで全て対応」というわけではありません。
ただし注意が必要です。数秒でも時間を節約するためにランプを極限まで使うと、その部分が非常に熱くなります。そのため、ケースには十分な放熱機能や水冷装置が必要です。さもなければ、クリーンルームの筐体が歪んでしまう可能性があります。それは避けたいですよね。
接続と運用
コネクタは標準的なものを使用しています。なぜかというと、既存の乾燥モジュールと簡単に交換できるようにしたかったからです。
サイズが小さいので、ワイヤーの近くに配置して効率を高めることができます。また、接着剤やコーティングも使用していません。そうしたものは最終的に剥がれ落ちてしまいます。代わりに、シンプルな機械的な接続方式を採用しています。
そして、ランプが壊れた時は、単純に交換すればよいのです。チャンバー全体の温度設定を再調整する必要はありません。すぐに作業を再開できます。