ヘーターによって水素センサーが壊れるのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさはわかるでしょう。ほんのわずかな塵や、ヒーターから漏れ出る少量のガスだけで、大量のセンサーが数秒で破損してしまいます。
問題は、一般的なヒーターは「汚れている」ということです。加熱されるとすぐに微粒子や有害なガス（VOCs）が放出されます。これは、きれいな環境を維持しようとする人にとっては悪夢です。
だからこそ、私たちは高純度の石英製のIRランプに切り替えました。
秘密は素材にあります
このランプには合成フューズドシリカが使用されています。これは普通のガラスとは異なり、温度が変わってもほとんど膨張や収縮しないので、管が割れたり、小さなガラス片が飛び散ったりする心配がありません。また、有機系の接着剤やバインダーも一切使用されていません。結果として、ヒーターは高温になっても煙やガスを放出せず、安定して機能します。
的確に熱を与える
センサーを製造する際には、正確に熱を必要な場所に送る必要があります。当社のIRランプは短波放射を利用しており、センサーの周囲の空気を温めることなく、熱を直接基材に伝えます。これにより、対流によって塵がウェーハに付着するという問題も解消されます。速度も非常に速く、全体の温度も一定に保たれるため、工程の管理が容易になります。
注意点
これらのランプは、真空室や制御された雰囲気のチャンバーに簡単に設置できるように設計されています。接続部には金メッキや高品質の合金が使用されているため、酸化の心配もありません。
しかし、高純度の石英は強化ガラスよりも少し脆いのです。
**絶対に、素手で管に触れないでください。**皮膚から出る油分が原因で、管が早期に故障する可能性があります。設置時には、チームのメンバーがノンワイプグローブやIPAウィップを使用するようにしてください。
確かに、安価な製品よりもコストは高くなります。しかし、廃棄されるセンサーの数を考えれば、そのコストは十分に正当化されます。