クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や、安価なヒーターから出るガスすらも、ウェーハや光学コーティングを破壊してしまいます。本当に厄介です。 だからこそ、私たちは異なる方...

リソグラフィーの工程においては、歩留まりは数度の違いで大きく変わってしまいます。ソフトベイク時に2℃の温度変動があると、CDの精度が悪化してしまいます。また、均一でない硬化処理を行うと、ラインエッジの粗さが生じてしまいます。そこで、ウェーハの乾燥やフォトレジストのプリベイク、ハードベイクの際に発生...