クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や、安価なヒーターから出るガスすらも、ウェーハや光学コーティングを破壊してしまいます。本当に厄介です。
だからこそ、私たちは異なる方法を採用しています。炭素繊維製のヒーターを高純度の合成石英製のケースに収めて使用するのです。
なぜ石英を使うのか
高純度の石英を使う理由は、熱に対して優れた耐性を持っているからです。熱衝撃によって壊れることもなく、金属不純物が作業エリアに漏れ出ることもありません。安価なガラスは温度の変化によって壊れやすいのですが、石英は安定した状態を保ちます。
また、炭素繊維フィラメントを真空密閉型のケースに収めることで、酸化を防ぎ、何よりも、何も外部に漏れ出ないようにしています。
効果的な加熱
これらのランプは短波赤外線エネルギーを利用しています。部品の周囲の空気を温めるのに時間を費やす代わりに、熱が直接対象物に伝わります。非常に高速です。
ただし、注意が必要です。その熱密度は非常に高いので、ヒーターを取り付ける部分には十分な余裕を持たせる必要があります。もし石英管をケースに厳しく押し込みすぎると、最初に加熱された時点で壊れてしまいます。絶対に避けたいことです。
工場での利用方法
コネクタを標準化しておくことで、既存の設備に簡単に取り付けることができます。設計が密閉されているため、ヒーターが壊れて全体のクリーンルームが汚染される心配もありません。ランプが寿命を迎えたら、単純に全体を交換すればよいのです。
また、電源にも注意が必要です。急激な電圧の上昇によって、フィラメントが破損する可能性があります。
PIDコントローラーを使用することもお勧めします。炭素繊維は反応が速いため、制御が適切でなければ目標温度を超えてしまうことがあります。適切に調整すれば、空気中にほこり一つ混入することなく、処理時間を短縮できます。