ウェーハ加熱の安全距離

ウェーハを安全に保つために：誘電体の信頼性についての真実 大量の熱をウェーハに与えるとき、高電圧が働きます。これは非常に過酷な環境です。わずかなミス——少しの電気漏れや偶発的な放電——で、コントローラーが破壊されたり、大量のシリコンが廃棄物になってしまったりします。 これは悪夢のような状況です。し...