半製品処理用ランプにおける熱対策 ファブ内での赤外線放射について言えば、それを適切に制御しなければ大変な問題が生じます。赤外線は単に電力を消費するだけでなく、高価な機器の内壁をまるでオーブンのようにしてしまいます。 ケースがあまりにも熱くなると、本当に深刻な問題が起きます。機械に触れる人々にとって...

製造現場では、焼成時の温度が0.5度でもずれると、もう二度とチャンスはありません。フォトレジストの焼成時に0.5℃の変動があるだけで、ウェーハの寸法が変わってしまい、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。そのため、予測可能で均一で安定した加熱が必要です。だからこそ、私たちはウェーハ製造用に特別に設...