真空対応の赤外線ヒーター

真空赤外線を利用した半導体製造工程における炭素排出量の削減 半導体の製造には高い精度が求められますが、高真空環境下での作業はエネルギー消費の観点から見ると大変な問題です。多くの工場では依然として抵抗加熱法を用いていますが、これはまるで鍋全体を温めることで小さな豌豆を温めようとするようなものです。こ...