赤外線加熱を活用したウエハー製造の最適化 半導体ウエハーの製造において、温度制御は不可欠な要素です。それは、全体のプロセスを支える重要な要素なのです。私たちが開発した赤外線ヒーターは、大手メーカーが提供するような高性能を実現しつつ、その高額な価格は回避しています。つまり、精度と速度を両立させ、かつ...

ライン上では、FOWLPは熱処理予算を限界まで使い切っている。リフローやエポキシ硬化時に一か所でもホットスポットが発生すると、その広範囲なファンアウトダイは位置ずれを起こし始める。従来の加熱器は温度が変動し、パネル全体の温度ムラが反り、ボイド、インターコネクトの強度不足として現れる。 ここがポイン...