線形赤外線加熱エミッター

ライン上では、ウェハは待たない。数秒間だけの猶予があり、その間にフォトレジストは前のロットと同じ温度プロファイルを経験しなければならない──ソフトベイク、ハードベイク。熱予算は厳しく、許容可能なエネルギーウィンドウはミリジュール単位で管理される。 ホットスポットが一か所。冷たいエッジが一か所。数十...