乾燥処理によって歩留まりが低下するのを防ごう クラス100のクリーンルームで作業しているなら、その悩みはよくわかるでしょう。ほんの少しのほこりや、ヒーターから出る微細な破片がMEMSセンサーワイヤー上に付着するだけで、表面張力が急激に変わってしまいます。その結果、歩留まりが下がってしまいます。これ...

機器を加熱するのをやめて、センサーを加熱しましょう 半導体を梱包する際、機器の間違った部分を加熱するのは単なる無駄遣いに過ぎません。また、安全性の面でも問題があります。 通常の赤外線ランプは、熱をあらゆる方向に放出するため、使いづらいです。その結果、高価な機器の内壁が過度に加熱され、作業員が火傷し...

ヘーターによって水素センサーが壊れるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさはわかるでしょう。ほんのわずかな塵や、ヒーターから漏れ出る少量のガスだけで、大量のセンサーが数秒で破損してしまいます。 問題は、一般的なヒーターは「汚れている」ということです。...

機械を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。 シリコンウェーハの処理に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、一般的なIRランプでは放射線があちこちに漏れ出します。 問題は、そのエネルギーがウェーハだけでなく、装置の内壁にも当たってしまうこと...

ウェーハの加熱部分を常に清潔に保つために クラス100のクリーンルームで作業する際には、ミスの余地は一切ありません。ほんのわずかなほこりや、加熱素子から発生するガスでも、製品の品質が低下してしまいます。これは本当に厄介な問題です。 そのため、私たちは従来の材料ではなく、高純度の合成石英をIRランプ...