省エネ型ウェーハヒーター

ファブ内での炭素排出削減：なぜ短波長の赤外線が最適なのか 半導体業界の人々は、炭素中性を達成するという大きなプレッシャーに直面しています。エネルギーの消費先を見ると、多くのエネルギーがウェーハの加熱や硬化処理に使われていることがわかります。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを採用しました。部...